加速度计制作_加速度计制作

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一种加速度计及其制作方法_百度文库权利要求说明书说明书54发明名称一种加速度计及其制作方法57摘要本发明提供一种加速度计及制作该加速度计的方法利用振动电极振动产生对应的感应电动势通过与振动电极相连的一个自组装单分子在待自制一个加速度计，其构造是：一根轻质杆，下端固定一个小球，上端装上自制一个加速度计，其构造是：一根轻质杆，下端固定一个小球，上端装上水平轴O，杆可在竖直平面内左右摆动，用白硬纸作为表面，放在杆摆动的平面上，并有刻度，可以直接读出加速度的大小和方向。

梳齿电容式Z轴加速度计及其制备方法.pdf(5)在玻璃衬底上制作金属电极，作为加速度计的引线电极；6)阳极键合，实现玻璃衬底和硅片的对准和粘合，并将硅片减薄到适当厚度；7)掩模刻蚀释放结构，完成高梳齿电容加速度计制备。5、如权利监测器装置中的加速度计的制作方法本披露涉及一种用于传感器组件的监测器装置，该传感器组件包括用于确定空间取向的加速度计。进一步，本披露涉及一种用于确定传感器组件相对于造口术的旋转偏移的方法。附图说明附图被包含在内。

╯﹏╰ 一种小型光纤光栅加速度计的制作方法一种小型光纤光栅加速度计的制作方法【技术领域】0001]本实用新型涉及光纤传感技术领域，具体涉及一种小型光纤光栅加速度计。【背景技术】0002]光纤光栅加速度计是一种基于光纤光栅传感的加速度计的制作方法专利名称：加速度计的制作方法技术领域：本发明涉及一种加速度计，并且具体地说，涉及一种相对较小尺寸和低成本的微型机电(MEMS)加速度计。背景技术：MEMS加速度计被广泛使用。

新型压阻式加速度计的设计与制作-张兆华刘理天温明生-中文会议【掌桥科研】压阻式加速度计有灵敏度高、稳定性好、制作简单等优点.本文提出了一种新型硅压阻式加速度传感器结构，该结构采用四个悬臂梁，这样既能够减小横向影响，又可以有效的利用由加速度产生的应力，使输出加加速度计的制作方法专利名称：加加速度计的制作方法技术领域：本实用新型涉及一种振动测量装置，尤其是涉及一种无源式动圈式拾振器。背景技术：目前，在工程振动测量中，绝大多数使用位移计、速度计、加速度计。

一种mems三轴加速度计的制作方法一种mems三轴加速度计的制作方法【技术领域】0001]本实用新型属于微机电(MEMS)领域，更准确地说，涉及一种微机电的加速度计，尤其涉及一种三轴加速度计。【背景技术】0002]目前，随着消费对流加速度计的制作方法专利名称：对流加速度计的制作方法技术领域：本发明涉及MEMS加速度计，尤其涉及通过测量在外部加速度或自由对流的影响下液体流所生成的电流的变化，来测量加速度、倾角、位置和速度的基于含。