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广钢气体取得专利,增强芯片清洗用亚临界二氧化碳供应的连续性和...金融界 2024 年 8 月 14 日消息,天眼查知识产权信息显示,广州广钢气体能源股份有限公司取得一项名为“一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统“,授权公告号 CN118009216B,申请日期为 2024 年 1 月。专利摘要显示,本发明涉及一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统,包括储罐、...

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科迪流体申请一种止回阀生产加工用阀门内壁清洁装置及方法专利,...金融界2024年8月12日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州科迪流体控制设备有限公司申请一项名为“一种止回阀生产加工用阀门内壁清洁装置及方法“,公开号 CN202410728350.3,申请日期为 2024 年 6 月。专利摘要显示,本发明涉及止回阀清洗技术领域,特别涉及一种止回阀生产加工...

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至纯科技申请一项专利,能够保证晶圆的清洗效果晶圆托齿机构上设有可沿片叉方向往返运动的晶圆托齿,其中,晶圆托齿在初始位置,第一晶圆承托柱承载清洗前的晶圆;晶圆托齿前伸至承托位置,晶圆托齿与第二晶圆承托柱承载清洗后的晶圆。本发明在取放晶圆时,将清洗前的脏晶圆和清洗后的干净晶圆进行分开取放,能够避免脏晶圆对干...

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