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三星申请扫描电子显微镜(SEM)测量方法和装置专利,减小关键尺寸测量...金融界2024年3月5日消息,据国家知识产权局公告,三星电子株式会社申请一项名为“扫描电子显微镜(SEM)测量方法和装置“,公开号CN117647180A,申请日期为2023年8月。专利摘要显示,提供了一种扫描电子显微镜(SEM)测量方法和/或装置,其根据相同图案的若干SEM图像中的关键尺...

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应用材料以色列公司申请样本的基于扫描电子显微镜的断层扫描专利,...应用材料以色列公司申请一项名为“样本的基于扫描电子显微镜的断层扫描”的专利,公开号CN 119044226 A,申请日期为2024年5月。专利摘要显示,本文公开了一种用于对样本执行非破坏性断层扫描的系统。该系统包括扫描电子显微镜 (SEM)和处理器。该SEM被配置为通过分别以多...

物元半导体申请基于关键尺寸扫描电子显微镜的堆叠误差测量与补偿...金融界2024年10月9日消息,国家知识产权局信息显示,物元半导体技术(青岛)有限公司申请一项名为“基于关键尺寸扫描电子显微镜的堆叠误差测量与补偿方法”的专利,公开号 CN 118748156 A,申请日期为 2024 年 6 月。专利摘要显示,本发明涉及一种基于关键尺寸扫描电子显微镜(CD...

三星申请神经网络设备专利,能有效检测并推断目标对象被配置为基于分别对应于扫描电子显微镜(SEM)图像的频率从SE)图像中选择目标图像,并将目标图像中的每一个剪裁成多个剪裁图像;(2)神经网络处理器,被配置为通过使用被训练为检测多个剪裁图像中的每一个中的目标对象的分段模型,通过从多个剪裁图像中的每一个推断目标对象,生成...